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扫描探针显微镜

来源:科研与设备处  发布日期:2010-11-26 

    号:Multimode Application module-ready nanoscope IIId SPM SYSTEM

    地:美国

设备单价:116.35(万元)

技术指标:1 纵向分辨率:可持续稳定得到原子级分辨率。用原子力显微镜(AFM)模式石墨样品进行510nm范围的扫描成像,测量图像中石墨的台阶高度值,以此值来表征仪器的纵向分辨率;要求测量值在:0.300.38nm范围内

2 横向分辨率:可持续稳定得到原子级分辨率。用原子力显微镜(AFM)模式对云母样品进行510nm范围的扫描成像,然后测量图像中相邻云母原子的间距值,以此值来表征仪器的横向分辨率;要求测量值在0.500.55nm范围内。

3 噪声水平:<0.3 Å,可持续稳定地达到原子级分辨率。对外界环境具有较高的抗干扰性(有防震系统)。

4 最大扫描范围:大于或等于 100μm*100 μm

5 样品尺寸范围:大于或等于15 mm *15 mm

6 光学观察辅助系统:在操作原子力显微镜、扫描隧道显微镜的同时,可获得光学图象。

7 扫描电容显微镜配件:通过测量探针与半导体样品之间的微电容变化,得到2D的载流子浓度分布图像,测量范围:1015 - 1020 carriers/cm3,分辨8 温控台部分:大气环境高温/负温(-30250°C)成像一体化配件,提供大气环境下高温及负温(-30250°C)成像功能(空气中及惰性气体环境),采用探针与样品同时加热技术,保证高温下成像不失真。

8 电化学显微镜系统,能够做电化学STM,电化学AFM以及电化学势显微镜。

主要功能:原子力显微镜 (AFM)扫描模式\扫描隧道显微镜(STM)扫描模式