型 号：ZEISS Crossbeam 540
产 地：德国
性能指标：电子束分辨率0.9nm@15kV, 1.8nm@1kV；离子切割精度3.5nm，束流1pA~100nA；探测器：BSE(2个)、SE(2个)、X射线能谱、EBS
主要功能（用途）：纳米精度、微米视域的三维成像（形貌、密度），微、纳米精度的二维成像（形貌、密度），微米精度的二维、三维元素分析。
联系人：孙朗秋
联系电话：010-89739103
测试项目 |
校内价格 |
对外价格 |
SEM手动图像采集 |
800元/小时 |
1150元/小时 |
SEM自动拼图 |
800元/小时 |
1150元/小时 |
FIB-SEM三维成像 |
1600元/小时 |
2300元/小时 |
EDS能谱分析 |
18元/点 |
25元/点 |
EDS元素面分布 |
40元/面 |
60元/面 |
